Exigences pour les salles blanches dans l'industrie des semi-conducteurs

Les exigences pour les salles blanches dans l'industrie des semi-conducteurs sont les suivantes :
1. Exigences de propreté élevées
La fabrication de semi-conducteurs exige un environnement très propre. La propreté de l'air dans les salles blanches varie en fonction des exigences des différents procédés de semi-conducteurs, respectant généralement les normes de Classe 1 (inférieure ou égale à 1 particule de 0,1 micron par pied cube) à Classe 100 (inférieure ou égale à 100 particules de 0,5 micron par pied cube).
2. Contrôle précis de la température et de l'humidité
Les matériaux semi-conducteurs sont très sensibles à la température et à l'humidité. La salle blanche doit être strictement contrôlée à 20-25 °C, avec une plage d'humidité relative de 40 à 60 % et des fluctuations ne dépassant pas ± 1 °C et ± 5 % HR.
3. Alimentation et distribution électrique fiables et stables
La salle blanche nécessite un système d'alimentation et de distribution électrique dédié pour fournir une alimentation stable et redondante, assurant le fonctionnement normal et ininterrompu des équipements de traitement. En même temps, il est nécessaire d'avoir des fonctions de protection et de filtrage pour éviter les interférences électriques.
4. Circulation raisonnable de l'air sans poussière
Les salles blanches doivent être équipées de systèmes de filtration et de circulation d'air sans poussière pour assurer une distribution raisonnable du flux d'air et l'absence de zones mortes, afin que l'air propre puisse atteindre tous les coins. La vitesse et la pression de l'air doivent également être strictement contrôlées pour empêcher l'air extérieur de refouler ou de perturber.
5. Conception sismique complète
Compte tenu des exigences de stabilité des procédés de semi-conducteurs, les salles blanches doivent généralement adopter des mesures de résistance aux chocs pour réduire l'impact des vibrations externes sur le processus. La fondation doit être suffisamment stable et équipée de dispositifs d'amortissement.
6. La sélection des matériaux est sans poussière et sans pollution
Le matériau de surface de la salle blanche doit être sans poussière et sans pollution, et ne produira pas de particules. L'acier inoxydable, les plaques d'aluminium, le verre trempé et d'autres matériaux sont couramment utilisés. Un rideau d'air doit être installé à l'entrée pour empêcher la poussière de pénétrer.